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电极片和工艺设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202422219358.5
申请日
:
2024-09-11
公开(公告)号
:
CN223193818U
公开(公告)日
:
2025-08-05
发明(设计)人
:
吴英俊
董竹
高立军
张海林
申请人
:
阿特斯储能科技有限公司
盐城市大丰阿特斯储能科技有限公司
申请人地址
:
215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
IPC主分类号
:
H01M4/13
IPC分类号
:
H01M4/139
H01M50/531
H01M50/593
H01M4/62
代理机构
:
北京景闻知识产权代理有限公司 11742
代理人
:
朱鸿雁
法律状态
:
授权
国省代码
:
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-08-05
授权
授权
共 50 条
[1]
电极组件和半导体工艺设备
[P].
余江浦
论文数:
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0
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余江浦
.
中国专利
:CN114695061A
,2022-07-01
[2]
传片系统和外延工艺设备
[P].
傅林坚
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
傅林坚
;
曹建伟
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
曹建伟
;
朱亮
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
朱亮
;
刘毅
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
刘毅
;
周建灿
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
周建灿
;
曹辰熙
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机构:
浙江求是半导体设备有限公司
浙江求是半导体设备有限公司
曹辰熙
.
中国专利
:CN221566369U
,2024-08-20
[3]
电极引入装置和半导体工艺设备
[P].
闫志顺
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北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
闫志顺
;
赵福平
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵福平
;
赵佳彬
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北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵佳彬
;
杨来宝
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
杨来宝
.
中国专利
:CN120072607B
,2025-12-12
[4]
电极转接结构和半导体工艺设备
[P].
孙国正
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
孙国正
;
张亚萍
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
张亚萍
.
中国专利
:CN120545240A
,2025-08-26
[5]
电极引入装置和半导体工艺设备
[P].
闫志顺
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
闫志顺
;
赵福平
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵福平
;
赵佳彬
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵佳彬
;
杨来宝
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
杨来宝
.
中国专利
:CN120072607A
,2025-05-30
[6]
上电极组件和半导体工艺设备
[P].
李凯
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李凯
;
王家祥
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王家祥
;
王一帆
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王一帆
;
符雅丽
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符雅丽
;
张鹏
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张鹏
.
中国专利
:CN215896300U
,2022-02-22
[7]
半导体工艺设备
[P].
雷喜凡
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雷喜凡
;
王昕昀
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王昕昀
;
张锋
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张锋
;
吴孝哲
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吴孝哲
;
吴龙江
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吴龙江
;
林宗贤
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林宗贤
.
中国专利
:CN209029338U
,2019-06-25
[8]
下电极机构及半导体工艺设备
[P].
王景远
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
王景远
;
李会鑫
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
李会鑫
;
韦刚
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
韦刚
;
王蕾越
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
王蕾越
;
葛军
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
葛军
;
李东彧
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
李东彧
.
中国专利
:CN117936347A
,2024-04-26
[9]
用于监控工艺设备的方法和工艺设备
[P].
M·科赫
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机构:
林德有限责任公司
林德有限责任公司
M·科赫
;
奥利弗·斯拉比
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机构:
林德有限责任公司
林德有限责任公司
奥利弗·斯拉比
.
德国专利
:CN114127645B
,2025-09-23
[10]
用于监控工艺设备的方法和工艺设备
[P].
M·科赫
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M·科赫
;
奥利弗·斯拉比
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奥利弗·斯拉比
.
中国专利
:CN114127645A
,2022-03-01
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