加热处理装置以及加热处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010592474.5

申请日：

2020-06-24

公开(公告)号：

CN112185847B

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

高木慎介久我恭弘大塚幸信相良慎一

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-25	授权	授权

共 50 条

[1]

加热处理装置以及加热处理方法 [P].

高木慎介 ;

久我恭弘 ;

大塚幸信 ;

相良慎一 .

中国专利 :CN112185847A ,2021-01-05

[2]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

水田诚人 ;

川路辰也 ;

中野圭悟 .

中国专利 :CN105702603B ,2016-06-22

[3]

加热处理装置 [P].

高木慎介 ;

久我恭弘 ;

大塚幸信 ;

相良慎一 .

中国专利 :CN213042875U ,2021-04-23

[4]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

大塚幸信 ;

相良慎一 .

日本专利 :CN118888474A ,2024-11-01

[5]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

岩坂英昭 ;

水永耕市 ;

林田贵大 .

日本专利 :CN117976574A ,2024-05-03

[6]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

大塚幸信 ;

相良慎一 .

中国专利 :CN111954923A ,2020-11-17

[7]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

大塚幸信 ;

相良慎一 .

日本专利 :CN111954923B ,2024-07-30

[8]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

岩坂英昭 ;

水永耕市 ;

林田贵大 .

日本专利 :CN109545709B ,2024-02-06

[9]

加热处理装置和加热处理方法 [P].

岩坂英昭 ;

水永耕市 ;

林田贵大 .

中国专利 :CN109545709A ,2019-03-29

[10]

加热处理装置、加热处理方法以及计算机存储介质 [P].

田中公一朗 ;

大塚幸信 ;

寺下裕一 .

日本专利 :CN119156691A ,2024-12-17

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