一种莫尔条纹自动调平方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510802615.4
申请日
2025-06-16
公开(公告)号
CN120469178A
公开(公告)日
2025-08-12
发明(设计)人
孙海峰 周吉 李昱阳 金川 俞大杰 刘俊伯
申请人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
IPC主分类号
G03F9/00
IPC分类号
G03F7/20 G03F1/80 G02B27/60 G02B27/44
代理机构
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人
王改英
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市
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共 50 条
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