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应用于半导体设备的测温方法以及测温系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510525681.1
申请日：
2025-04-25
公开(公告)号：
CN120043641B
公开(公告)日：
2025-08-12
发明(设计)人：
马法君 左志耀 黄呈 刘明军
申请人：
蓝河科技（绍兴）有限公司
申请人地址：
311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼
IPC主分类号：
G01J5/53
IPC分类号：
G01J5/90
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
黄海霞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-27 公开 公开
2025-08-12 授权 授权
2025-06-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01J 5/53申请日:20250425
共 50 条
[1]
应用于半导体设备的测温方法以及测温系统 [P]. 
马法君 ;
左志耀 ;
黄呈 ;
刘明军 .
中国专利 :CN120043641A ,2025-05-27
[2]
高温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法 [P]. 
马法君 ;
左志耀 ;
黄呈 ;
刘明军 .
中国专利 :CN120043642B ,2025-08-26
[3]
高温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法 [P]. 
马法君 ;
左志耀 ;
黄呈 ;
刘明军 .
中国专利 :CN120043642A ,2025-05-27
[4]
低温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法 [P]. 
马法君 ;
左志耀 ;
黄呈 ;
刘明军 .
中国专利 :CN120043643A ,2025-05-27
[5]
低温半导体设备测温的温度标定方法和测温系统及方法 [P]. 
马法君 ;
左志耀 ;
黄呈 ;
刘明军 .
中国专利 :CN120043643B ,2025-08-26
[6]
光栅测温装置、半导体设备及其测温方法 [P]. 
洪俊华 .
中国专利 :CN119290188A ,2025-01-10
[7]
一种应用于半导体设备的测温元件高度调节装置及方法 [P]. 
郭开龙 ;
张建 ;
祁广杰 .
中国专利 :CN121140963A ,2025-12-16
[8]
测温设备的测温方法、测温系统以及测温设备和存储装置 [P]. 
卢伍平 ;
湛杰 ;
杨志强 .
中国专利 :CN110793636B ,2020-02-14
[9]
应用于半导体设备的监测系统及半导体设备 [P]. 
王文寿 .
中国专利 :CN120998826A ,2025-11-21
[10]
一种用于半导体设备的测温结构 [P]. 
钟佑恺 ;
祖贺远 .
中国专利 :CN223727285U ,2025-12-26
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