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光栅测温装置、半导体设备及其测温方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411411194.4
申请日：
2024-10-10
公开(公告)号：
CN119290188A
公开(公告)日：
2025-01-10
发明(设计)人：
洪俊华
申请人：
上海凯世通半导体股份有限公司
北京凯世通半导体有限公司
上海临港凯世通半导体有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区牛顿路200号7号楼单元1
IPC主分类号：
G01K11/3206
IPC分类号：
H01L21/66
H01L21/67
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
高静
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-10 | 公开 | 公开 |
| 2025-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01K 11/3206申请日:20241010 |