一种调控纳秒激光诱导半导体表面周期性结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210885406.7

申请日：

2022-07-26

公开(公告)号：

CN115156719B

公开(公告)日：

2025-08-15

发明(设计)人：

曹思琪韩冰刘燕峰卢奕扬

申请人：

南京理工大学

申请人地址：

210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号

IPC主分类号：

B23K26/352

IPC分类号：

B23K26/60 B23K26/70

代理机构：

南京理工大学专利中心 32203

代理人：

岑丹

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省南京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-15	授权	授权

共 50 条

[1]

多脉冲皮秒激光诱导半导体材料表面周期性结构的方法 [P].

高语璠 ;

韩冰 ;

马丁·伊尔哈特 ;

于彩芸 ;

朱日宏 .

中国专利 :CN111250874A ,2020-06-09

[2]

单脉冲纳秒激光诱导透明介电材料表面周期性结构的方法 [P].

马丁·伊尔哈特 ;

韩冰 ;

克劳斯·齐默 ;

朱日宏 ;

倪晓武 .

中国专利 :CN109132998A ,2019-01-04

[3]

基于纳秒和飞秒复合脉冲的半导体材料表面周期性结构制备方法 [P].

韩冰 ;

戴晗 ;

王仁杰 ;

张静 ;

刘延硕 .

中国专利 :CN118478086A ,2024-08-13

[4]

皮秒激光诱导光学玻璃表面周期性结构的方法 [P].

于彩芸 ;

韩冰 ;

马丁·伊尔哈特 ;

高语璠 ;

朱日宏 .

中国专利 :CN111168233A ,2020-05-19

[5]

飞秒激光辐照半导体材料表面改性制备周期性结构的方法 [P].

张硕 ;

宋宁真 ;

陈建超 ;

李永欣 ;

陈俊云 .

中国专利 :CN120962139A ,2025-11-18

[6]

一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法 [P].

姜澜 ;

房巨强 ;

曹强 .

中国专利 :CN103934576A ,2014-07-23

[7]

一种半导体表面制备微纳结构尺寸的精密调控方法 [P].

单翀 ;

王尔玺 ;

赵晓晖 ;

李福建 ;

高妍琦 ;

崔勇 ;

季来林 ;

夏兰 ;

冯伟 ;

刘栋 ;

隋展 .

中国专利 :CN120717407A ,2025-09-30

[8]

一种定制飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌的方法 [P].

孙靖雅 ;

叶满楼 ;

陶文攀 ;

高彬航 .

中国专利 :CN118951302A ,2024-11-15

[9]

一种激光诱导的周期可调的氧化周期性结构的制备方法 [P].

石理平 ;

耿娇 ;

严吉 .

中国专利 :CN119457410A ,2025-02-18

[10]

一种简易控制激光诱导表面周期性结构排布方向的方法 [P].

姜澜 ;

刘威 ;

胡洁 .

中国专利 :CN109014566B ,2018-12-18

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