飞秒激光辐照半导体材料表面改性制备周期性结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511119572.6

申请日：

2025-08-11

公开(公告)号：

CN120962139A

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

张硕宋宁真陈建超李永欣陈俊云

申请人：

燕山大学

申请人地址：

066004 河北省秦皇岛市河北大街西段438号

IPC主分类号：

B23K26/352

IPC分类号：

B23K26/082 H01L21/268

代理机构：

北京孚睿湾知识产权代理事务所(普通合伙) 11474

代理人：

韩燕

法律状态：

公开

国省代码：

河北省秦皇岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	公开	公开
2025-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/352申请日:20250811

共 50 条

[1]

基于纳秒和飞秒复合脉冲的半导体材料表面周期性结构制备方法 [P].

韩冰 ;

戴晗 ;

王仁杰 ;

张静 ;

刘延硕 .

中国专利 :CN118478086A ,2024-08-13

[2]

多脉冲皮秒激光诱导半导体材料表面周期性结构的方法 [P].

高语璠 ;

韩冰 ;

马丁·伊尔哈特 ;

于彩芸 ;

朱日宏 .

中国专利 :CN111250874A ,2020-06-09

[3]

在半导体材料表面制备周期性结构的系统及方法 [P].

肖捷翔 ;

易觉民 ;

王萌艺 ;

王淼 ;

徐科 .

中国专利 :CN120362699A ,2025-07-25

[4]

一种飞秒激光诱导材料表面二维周期性结构的方法 [P].

姜澜 ;

房巨强 ;

曹强 .

中国专利 :CN103934576A ,2014-07-23

[5]

一种调控纳秒激光诱导半导体表面周期性结构的方法 [P].

曹思琪 ;

韩冰 ;

刘燕峰 ;

卢奕扬 .

中国专利 :CN115156719B ,2025-08-15

[6]

纳秒激光辐照制备非晶合金表面微纳米周期性结构的方法 [P].

黄虎 ;

钱永峰 ;

张洪洋 ;

张帝 ;

刘翰林 ;

洪婧 .

中国专利 :CN113070576B ,2021-07-06

[7]

一种宽禁带半导体表面深亚波长周期性条纹结构的制备方法 [P].

吴强 ;

刘瑶瑶 ;

王俞萱 ;

黄松 ;

李志轩 ;

进晓荣 ;

符显辉 ;

周旭 ;

宋冠廷 ;

胡晓洋 ;

江欣达 ;

姚江宏 ;

许京军 .

中国专利 :CN112091418A ,2020-12-18

[8]

基于半导体基底飞秒光制备微纳结构实现超疏水功能的方法 [P].

刘世炳 ;

王胜男 ;

宋海英 ;

王冰 ;

吴坚 .

中国专利 :CN113059269A ,2021-07-02

[9]

飞秒激光对材料表面改性的微精细加工系统 [P].

陈平安 ;

陈在维 ;

牛建设 ;

任悦 .

中国专利 :CN101480757B ,2009-07-15

[10]

单脉冲纳秒激光诱导透明介电材料表面周期性结构的方法 [P].

马丁·伊尔哈特 ;

韩冰 ;

克劳斯·齐默 ;

朱日宏 ;

倪晓武 .

中国专利 :CN109132998A ,2019-01-04

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