在半导体材料表面制备周期性结构的系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510876587.0

申请日：

2025-06-27

公开(公告)号：

CN120362699A

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

肖捷翔易觉民王萌艺王淼徐科

申请人：

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号

IPC主分类号：

B23K26/0622

IPC分类号：

B23K26/06 B23K26/067 B23K26/70

代理机构：

南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256

代理人：

李志

法律状态：

公开

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-25	公开	公开
2025-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/0622申请日:20250627

共 50 条

[1]

飞秒激光辐照半导体材料表面改性制备周期性结构的方法 [P].

张硕 ;

宋宁真 ;

陈建超 ;

李永欣 ;

陈俊云 .

中国专利 :CN120962139A ,2025-11-18

[2]

基于纳秒和飞秒复合脉冲的半导体材料表面周期性结构制备方法 [P].

韩冰 ;

戴晗 ;

王仁杰 ;

张静 ;

刘延硕 .

中国专利 :CN118478086A ,2024-08-13

[3]

一种宽禁带半导体表面深亚波长周期性条纹结构的制备方法 [P].

吴强 ;

刘瑶瑶 ;

王俞萱 ;

黄松 ;

李志轩 ;

进晓荣 ;

符显辉 ;

周旭 ;

宋冠廷 ;

胡晓洋 ;

江欣达 ;

姚江宏 ;

许京军 .

中国专利 :CN112091418A ,2020-12-18

[4]

多脉冲皮秒激光诱导半导体材料表面周期性结构的方法 [P].

高语璠 ;

韩冰 ;

马丁·伊尔哈特 ;

于彩芸 ;

朱日宏 .

中国专利 :CN111250874A ,2020-06-09

[5]

在导电玻璃表面诱导周期性微结构的方法 [P].

赵崇军 ;

赵全忠 ;

曲士良 ;

陈庆希 ;

姜雄伟 ;

杨旅云 ;

邱建荣 ;

朱从善 .

中国专利 :CN1648715A ,2005-08-03

[6]

周期性半导体装置偏移计量学系统及方法 [P].

D·米克尔松 ;

Y·弗莱 .

美国专利 :CN114342053B ,2025-05-16

[7]

周期性半导体装置偏移计量学系统及方法 [P].

D·米克尔松 ;

Y·弗莱 .

中国专利 :CN114342053A ,2022-04-12

[8]

一种周期可调的材料表面亚微米量级周期性结构制备方法 [P].

韩冰 ;

张静 ;

戴晗 ;

王仁杰 ;

刘延硕 .

中国专利 :CN118455748A ,2024-08-09

[9]

一种调控纳秒激光诱导半导体表面周期性结构的方法 [P].

曹思琪 ;

韩冰 ;

刘燕峰 ;

卢奕扬 .

中国专利 :CN115156719B ,2025-08-15

[10]

半导体结构的制备方法及半导体结构 [P].

黄熙 ;

韩廷瑜 ;

李天澍 .

中国专利 :CN117766400A ,2024-03-26

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