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一种摆臂翻转倒装固晶机构及装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422338225.X
申请日：
2024-09-25
公开(公告)号：
CN223260579U
公开(公告)日：
2025-08-22
发明(设计)人：
石新华
李晓锋
申请人：
上海骄成半导体设备技术有限公司
申请人地址：
200240 上海市闵行区沧源路1488号二幢一层102室
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/60
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-22 | 授权 | 授权 |