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半导体处理装置和半导体处理系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510540002.8
申请日：
2021-09-14
公开(公告)号：
CN120497194A
公开(公告)日：
2025-08-15
发明(设计)人：
温子瑛
申请人：
无锡华瑛微电子技术有限公司
申请人地址：
214131 江苏省无锡市新区震泽路18号无锡(国家)软件园鲸鱼座A栋1楼
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/68
H01L21/306
代理机构：
苏州简理知识产权代理有限公司 32371
代理人：
庞聪雅
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-15 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20210914 |