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光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111216495.8
申请日：
2021-10-19
公开(公告)号：
CN115993753B
公开(公告)日：
2025-08-22
发明(设计)人：
陈术 严中稳
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路18号
IPC主分类号：
G03F1/36
IPC分类号：
代理机构：
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人：
高静
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-22 授权 授权
共 50 条
[1]
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P]. 
杜杳隽 ;
丁丽华 .
中国专利 :CN116165837B ,2025-09-02
[2]
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P]. 
杜杳隽 .
中国专利 :CN115903368B ,2025-08-05
[3]
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P]. 
张戈 ;
王晨 ;
李丹然 ;
陈巧丽 .
中国专利 :CN117706859A ,2024-03-15
[4]
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P]. 
徐轩岳 ;
陈蓓 ;
胡月 .
中国专利 :CN119225110A ,2024-12-31
[5]
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P]. 
杜杳隽 ;
王兰芳 .
中国专利 :CN116068839B ,2025-09-02
[6]
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P]. 
严中稳 ;
陈术 ;
陈巧丽 ;
罗连波 .
中国专利 :CN115793379B ,2025-09-02
[7]
光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P]. 
严中稳 ;
张戈 .
中国专利 :CN116413990B ,2025-08-01
[8]
光学邻近修正方法、掩膜版及可读存储介质 [P]. 
朱斌 ;
王浩 ;
王谨恒 ;
陈洁 ;
张剑 ;
曹楠 .
中国专利 :CN117471857A ,2024-01-30
[9]
光学邻近修正方法及修正装置、掩膜版、设备和存储介质 [P]. 
朱斌 ;
王浩 ;
陈洁 ;
张剑 ;
曹楠 ;
严保鑫 ;
陈圆香 .
中国专利 :CN121165387A ,2025-12-19
[10]
光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备、存储介质 [P]. 
柏锋 ;
杜杳隽 ;
李甲兮 ;
张婉娟 ;
李亮 .
中国专利 :CN113050366A ,2021-06-29
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