一种碳化硅膜及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510824980.5
申请日
2025-06-19
公开(公告)号
CN120644074A
公开(公告)日
2025-09-16
发明(设计)人
吴晓进 邹栋 谭旭勇 宋彧奇 芮家成 周勇
申请人
南京工业大学
申请人地址
211816 江苏省南京市江北新区浦珠南路30号南京工业大学
IPC主分类号
B01D71/02
IPC分类号
B01D69/02 B01D69/10 B01D67/00 B01D53/22
代理机构
南京禾易知识产权代理有限公司 32320
代理人
段文静
法律状态
公开
国省代码
江苏省 南京市
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共 50 条
[1]
一种碳化硅陶瓷膜的制备方法 [P]. 
顾渊 .
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碳化硅膜及其制备方法 [P]. 
张志炳 ;
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一种旋流式碳化硅膜制备方法 [P]. 
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范克银 ;
闫勇 ;
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[5]
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[6]
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陈力辉 .
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[7]
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