碳化硅膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811638063.4

申请日：

2018-12-29

公开(公告)号：

CN109437914A

公开(公告)日：

2019-03-08

发明(设计)人：

张志炳张云飞刘欢沈烈张达周杨

申请人：

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区亚太路1399号亚太科创园

IPC主分类号：

C04B35573

IPC分类号：

C04B35622

代理机构：

杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250

代理人：

李丽华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	授权	授权
2021-06-11	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C04B 35/573 变更事项:申请人变更前:杭州坚膜科技有限公司变更后:浙江坚膜科技有限公司变更事项:地址变更前:311200 浙江省杭州市萧山区亚太路1399号亚太科创园变更后:324100 浙江省衢州市江山市江山经济开发区(莲华山工业园)贺新路7-5号
2019-03-08	公开	公开
2019-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/573 申请日:20181229

共 50 条

[1]

碳化硅膜的制备方法 [P].

涂溶 ;

朱佩佩 ;

章嵩 ;

张联盟 .

中国专利 :CN103911597B ,2014-07-09

[2]

一种碳化硅膜及其制备方法 [P].

吴晓进 ;

邹栋 ;

谭旭勇 ;

宋彧奇 ;

芮家成 ;

周勇 .

中国专利 :CN120644074A ,2025-09-16

[3]

一种高纯碳化硅、碳化硅晶圆及其制备方法 [P].

刘剑洪 ;

陈超 ;

陈文沛 ;

林文忠 ;

杨明 ;

刘彬 ;

杨鹏刚 ;

扶勇欢 ;

孙学良 ;

欧阳小平 ;

吴奇 .

中国专利 :CN110104651B ,2019-08-09

[4]

碳化硅结构及其制备方法、碳化硅环 [P].

张珉硕 .

中国专利 :CN118600390A ,2024-09-06

[5]

碳化硅及其制备方法 [P].

周芳享 .

中国专利 :CN110921670B ,2020-03-27

[6]

碳化硅组合物、碳化硅陶瓷及其制备方法 [P].

贺鹏博 ;

李亚林 .

中国专利 :CN119874396A ,2025-04-25

[7]

碳化硅复合籽晶及其制备方法、碳化硅晶体 [P].

周国清 .

中国专利 :CN120401008A ,2025-08-01

[8]

碳化硅复合籽晶及其制备方法、碳化硅晶体 [P].

周国清 .

中国专利 :CN120401009A ,2025-08-01

[9]

碳化硅籽晶、碳化硅籽晶组件及其制备方法和制备碳化硅晶体的方法 [P].

蔡凯 ;

郭少聪 ;

王军 ;

周维 .

中国专利 :CN113897684A ,2022-01-07

[10]

碳化硅陶瓷分离及其制备方法 [P].

席红安 ;

赵俊亮 ;

麦保祥 ;

卢庆贤 .

中国专利 :CN110981545A ,2020-04-10

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