碳化硅膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410162587.6

申请日：

2014-04-22

公开(公告)号：

CN103911597B

公开(公告)日：

2014-07-09

发明(设计)人：

涂溶朱佩佩章嵩张联盟

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号

IPC主分类号：

C23C1632

IPC分类号：

代理机构：

湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102

代理人：

崔友明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-25	授权	授权
2014-08-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584241011 IPC(主分类):C23C 16/32 专利申请号:2014101625876 申请日:20140422
2019-04-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/32 申请日:20140422 授权公告日:20170125 终止日期:20180422
2014-07-09	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅膜及其制备方法 [P].

张志炳 ;

张云飞 ;

刘欢 ;

沈烈 ;

张达 ;

周杨 .

中国专利 :CN109437914A ,2019-03-08

[2]

碳化硅陶瓷的制备方法和碳化硅陶瓷 [P].

刘乙男 ;

崔本仓 ;

方宏 ;

林润港 ;

曹民 .

中国专利 :CN119707497A ,2025-03-28

[3]

碳化硅陶瓷的制备方法 [P].

郭兴忠 ;

杨辉 ;

胡常炳 ;

张玲洁 ;

郑志荣 ;

高黎华 .

中国专利 :CN102030534A ,2011-04-27

[4]

碳化硅欧姆接触的制备方法 [P].

汤晓燕 ;

李彦良 ;

何艳静 ;

张艺蒙 ;

宋庆文 .

中国专利 :CN107993926A ,2018-05-04

[5]

一种碳化硅纳米纤维膜的制备方法 [P].

仲兆祥 ;

李冬燕 ;

魏巍 ;

徐鹏 ;

张峰 ;

邢卫红 .

中国专利 :CN108176249A ,2018-06-19

[6]

碳化硅单晶的清洗方法 [P].

张丹 ;

赵淑贞 ;

张飞虎 ;

甘阳 .

中国专利 :CN103949429A ,2014-07-30

[7]

一种碳化硅纳米线的制备方法 [P].

蔡克峰 ;

雷强 .

中国专利 :CN100384725C ,2007-01-24

[8]

一种立方碳化硅涂层的制备方法 [P].

涂溶 ;

徐青芳 ;

章嵩 ;

张联盟 .

中国专利 :CN107513698B ,2017-12-26

[9]

碳化硅基CVD金刚石涂层的制备方法及碳化硅基 [P].

何利文 ;

蒋梦婷 ;

欧阳晓平 .

中国专利 :CN111499410A ,2020-08-07

[10]

碳化硅复相陶瓷的制备方法 [P].

郭兴忠 ;

杨辉 ;

傅培鑫 ;

高黎华 ;

马奇 ;

李海淼 .

中国专利 :CN100465132C ,2007-09-19

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