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光刻机可变狭缝的控制方法、系统以及光刻机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510780757.5
申请日：
2025-06-12
公开(公告)号：
CN120276220B
公开(公告)日：
2025-09-09
发明(设计)人：
张琪
符友银
金建
申请人：
新毅东（北京）科技有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼1层101-8
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
H02P5/46
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
高晓艳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-09 | 授权 | 授权 |
| 2025-07-08 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250612 |