一种高导热氧化镓复合衬底及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510576872.0

申请日：

2025-05-06

公开(公告)号：

CN120674392A

公开(公告)日：

2025-09-19

发明(设计)人：

杨世凌张逸韵姚然杨华伊晓燕王军喜

申请人：

中国科学院半导体研究所

申请人地址：

100083 北京市海淀区清华东路甲35号

IPC主分类号：

H01L23/373

IPC分类号：

H01L21/48 H10D8/60 H10D8/01

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

于哲

法律状态：

公开

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-19	公开	公开
2025-10-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/373申请日:20250506

共 50 条

[1]

一种高导热氧化镓复合衬底及其制备方法 [P].

杨世凌 ;

张逸韵 ;

姚然 ;

杨华 ;

伊晓燕 ;

王军喜 .

中国专利 :CN120767264A ,2025-10-10

[2]

一种氧化镓复合铜金刚石陶瓷材料衬底及其制备方法和应用 [P].

杨世凌 ;

张逸韵 ;

姚然 ;

杨华 ;

伊晓燕 ;

王军喜 .

中国专利 :CN120656941A ,2025-09-16

[3]

一种高导热氧化镓晶体管及其制备方法 [P].

郁鑫鑫 ;

李忠辉 ;

沈睿 .

中国专利 :CN118039701A ,2024-05-14

[4]

一种氧化镓异质外延衬底及其制备方法 [P].

杨世凌 ;

张逸韵 ;

姚然 ;

杨华 ;

伊晓燕 ;

王军喜 .

中国专利 :CN120199682A ,2025-06-24

[5]

一种氧化镓晶体及其制备方法和应用 [P].

谢奎 ;

李佳明 ;

叶灵婷 .

中国专利 :CN114775055A ,2022-07-22

[6]

一种多孔氧化镓/氮化镓异质结及其制备方法和应用 [P].

贾伟 ;

任恒磊 ;

贾凯达 ;

翟光美 ;

董海亮 ;

许并社 .

中国专利 :CN117457497A ,2024-01-26

[7]

氧化镓衬底及其制备方法 [P].

张逸韵 ;

姚然 ;

杨华 ;

伊晓燕 ;

王军喜 .

中国专利 :CN117855049A ,2024-04-09

[8]

氧化镓衬底及其制备方法 [P].

张逸韵 ;

姚然 ;

杨华 ;

伊晓燕 ;

王军喜 .

中国专利 :CN117855049B ,2025-09-19

[9]

基于蓝宝石衬底的氧化镓单晶紫外探测器件、阵列制备方法和应用 [P].

李晓茜 .

中国专利 :CN118073372A ,2024-05-24

[10]

一种氧化镓薄膜及其制备方法和应用 [P].

刘宁涛 ;

张文瑞 ;

叶继春 .

中国专利 :CN116770237B ,2025-11-21

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