基于机理模型的ALD设备温度控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510410972.6

申请日：

2025-04-02

公开(公告)号：

CN120255605B

公开(公告)日：

2025-09-05

发明(设计)人：

刘强杨平

申请人：

上海稷以科技有限公司

申请人地址：

200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室

IPC主分类号：

G05D23/20

IPC分类号：

代理机构：

上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312

代理人：

孟丽娜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G05D 23/20申请日:20250402
2025-09-05	授权	授权
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

基于机理模型的ALD设备温度控制方法 [P].

刘强 ;

杨平 .

中国专利 :CN120255605A ,2025-07-04

[2]

基于负荷预测和冷水机组机理模型的动态温度控制方法 [P].

王振振 ;

林如海 ;

张琨 .

中国专利 :CN121206654A ,2025-12-26

[3]

基于设备机理模型的数据增强方法 [P].

陈适铭 ;

熊钧 ;

邓翔 ;

徐永凯 .

中国专利 :CN118350482A ,2024-07-16

[4]

基于机理模型的化工过程非线性模型预测控制方法 [P].

吴胜 ;

王元华 ;

柴俊沙 ;

周鹏 .

中国专利 :CN116088431B ,2025-04-15

[5]

一种基于Smith预估补偿幅限模糊PID的ALD设备温度控制方法 [P].

卢倩 ;

李皓之 ;

周昊天 ;

王鹏举 ;

周临震 ;

曾勇 .

中国专利 :CN115639864A ,2023-01-24

[6]

制冷设备的温度控制方法 [P].

王武斌 ;

孟令博 ;

芦树龙 ;

曾凡君 ;

卞伟 .

中国专利 :CN111102798A ,2020-05-05

[7]

一种基于前馈-反应机理模型的反应器温度自动控制方法 [P].

卢大鹏 ;

田宇 ;

王远辉 ;

郑梁 ;

王浩 ;

董玉玺 ;

刘刚 ;

朱敏燕 ;

张宏科 .

中国专利 :CN110045764A ,2019-07-23

[8]

晶片温度控制方法及温度控制系统、半导体处理设备 [P].

魏延宝 .

中国专利 :CN110362127A ,2019-10-22

[9]

基于双模型的温度控制器 [P].

刘振铎 ;

T·G·M·奥斯特拉肯 .

:CN117331386A ,2024-01-02

[10]

一种基于机理模型的涡轮设备仿真模型标定方法 [P].

张利琴 ;

黄彦平 ;

曾小康 ;

邓康杰 ;

宫厚军 ;

昝元锋 .

中国专利 :CN119918450A ,2025-05-02

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