一种晶圆切割设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510892532.9

申请日：

2025-06-30

公开(公告)号：

CN120644819A

公开(公告)日：

2025-09-16

发明(设计)人：

冉隆光陈昱贾楠毛金锐黎梅李斌

申请人：

苏州赛尔科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区科智路1号科技工业坊二期D2单元

IPC主分类号：

B23K26/38

IPC分类号：

B23K26/70 B23K26/142 B23K26/16 B23K26/08

代理机构：

苏州途正专利代理有限公司 32559

代理人：

吉林

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-16	公开	公开
2025-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/38申请日:20250630

共 50 条

[1]

一种晶圆切割设备 [P].

茹锋 ;

冯杰 ;

吴剑芬 ;

茹斌 ;

周洪祖 ;

何棋锋 .

中国专利 :CN117001857B ,2024-03-29

[2]

一种晶圆片切割设备 [P].

吴俊 ;

袁志伟 ;

向宏阳 .

中国专利 :CN223558758U ,2025-11-18

[3]

激光晶圆切割设备 [P].

乔金彪 .

中国专利 :CN112643219A ,2021-04-13

[4]

一种碳化硅晶圆激光切割设备 [P].

朱佰喜 ;

薛抗美 ;

卢晓颖 .

中国专利 :CN114453773A ,2022-05-10

[5]

一种晶圆切割设备 [P].

蔡正道 ;

陶为银 ;

鲍占林 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN216264087U ,2022-04-12

[6]

一种晶圆切割设备 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN108858833A ,2018-11-23

[7]

一种晶圆切割设备 [P].

蔡正道 ;

陶为银 ;

鲍占林 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN113560747A ,2021-10-29

[8]

一种晶圆切割设备 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN210100401U ,2020-02-21

[9]

一种晶圆切割设备 [P].

沙马尔干 .

中国专利 :CN110625268A ,2019-12-31

[10]

一种晶圆切割设备 [P].

黄晓辉 ;

周永昌 ;

董琪琪 .

中国专利 :CN216884678U ,2022-07-05

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