一种ITO-Ag-ITO蚀刻液及其制备方法和应用

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专利类型
发明
申请号
CN202510934486.4
申请日
2025-07-08
公开(公告)号
CN120442254B
公开(公告)日
2025-09-23
发明(设计)人
赵建国 吴新清 王维康 何烨谦 黄德新 龚升
申请人
合肥中聚和成光电材料股份有限公司
申请人地址
231600 安徽省合肥市肥东县合肥循环经济示范园长松路东800米处
IPC主分类号
C09K13/06
IPC分类号
C23F1/30 H01L21/3213
代理机构
合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118
代理人
魏玉娇
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种ITO-Ag-ITO蚀刻液及其制备方法和应用 [P]. 
赵建国 ;
吴新清 ;
王维康 ;
何烨谦 ;
黄德新 ;
龚升 .
中国专利 :CN120442254A ,2025-08-08
[2]
一种AMOLED用ITO-Ag-ITO蚀刻液 [P]. 
栾成 ;
殷福华 ;
邵勇 ;
赵文虎 ;
李英 ;
朱龙 ;
顾玲燕 .
中国专利 :CN105463463B ,2016-04-06
[3]
一种三步法ITO-Ag-ITO蚀刻液、其制备方法与应用 [P]. 
侯军 ;
彭仁杰 ;
滕越 ;
邓璐瑶 .
中国专利 :CN119144333A ,2024-12-17
[4]
一种用于ITO-Ag-ITO导电薄膜的低黏度蚀刻液及其制备方法 [P]. 
胡涛 ;
倪芸岚 ;
高立江 ;
邢攸美 ;
龚升 ;
尹云舰 ;
方伟华 .
中国专利 :CN106479504B ,2017-03-08
[5]
一种兼容IGZO和ITO蚀刻液及其制备方法和应用 [P]. 
靳海仲 ;
张秋莲 ;
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邵勇 ;
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郏科龙 .
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[6]
一种钼铝钼和ITO/Ag/ITO兼容蚀刻液及制备方法 [P]. 
戈士勇 .
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[7]
一种OLED用ITO蚀刻液及其制备方法和应用 [P]. 
傅华 ;
刘兵 ;
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[8]
一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法 [P]. 
王维 ;
潘春林 ;
李自杰 ;
林秋玉 .
中国专利 :CN114507527A ,2022-05-17
[9]
一种用于ITO/Ag/ITO多层薄膜的蚀刻液 [P]. 
康威 ;
梁作 ;
赵大成 ;
陈昊 .
中国专利 :CN104861980A ,2015-08-26
[10]
一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法 [P]. 
王维 ;
潘春林 ;
李自杰 ;
林秋玉 .
中国专利 :CN114507529A ,2022-05-17