一种高选择性银蚀刻液及其制备方法、蚀刻工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510858597.1

申请日：

2025-06-25

公开(公告)号：

CN120758883A

公开(公告)日：

2025-10-10

发明(设计)人：

王庆伟李明凯张虎刘庆五谭镇东刘文权秦海涛秦亚红周游

申请人：

润晶（重庆）电子材料有限公司

申请人地址：

400700 重庆市北碚区水善路4号

IPC主分类号：

C23F1/30

IPC分类号：

C23F1/44

代理机构：

重庆创新专利商标代理有限公司 50125

代理人：

王洪英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/30申请日:20250625
2025-10-10	公开	公开

共 50 条

[1]

选择性铁蚀刻液及蚀刻方法 [P].

陈修宁 ;

李建 ;

王扩军 ;

黄志齐 ;

黄京华 ;

王淑萍 .

中国专利 :CN103194755A ,2013-07-10

[2]

高选择性氮化物蚀刻工艺 [P].

J·B·张 ;

S·U·恩格尔曼 ;

N·C·M·富勒 ;

M·A·古罗恩 ;

中村昌洋 .

中国专利 :CN103890918A ,2014-06-25

[3]

选择性锡蚀刻液 [P].

陈修宁 ;

王淑萍 ;

李建 ;

黄志齐 ;

黄京华 .

中国专利 :CN103866324B ,2014-06-18

[4]

高选择性含银合金膜的蚀刻液及其应用 [P].

叶瑞 ;

黄锣锣 ;

贺兆波 ;

欧阳克银 ;

钟昌东 ;

张演哲 ;

黎鹏飞 ;

郑秋曈 ;

高楒羽 ;

张宗萍 .

中国专利 :CN117684176A ,2024-03-12

[5]

铜选择性蚀刻液和钛选择性蚀刻液 [P].

江月华 .

中国专利 :CN105603425A ,2016-05-25

[6]

一种选择性银蚀刻液 [P].

袁福根 ;

李理 .

中国专利 :CN108456886A ,2018-08-28

[7]

蚀刻液添加剂、蚀刻液及其应用、蚀刻工艺 [P].

郁操 ;

董刚强 .

中国专利 :CN115161641B ,2024-06-11

[8]

PCB板蚀刻液及其蚀刻工艺 [P].

叶钢华 ;

吴永强 .

中国专利 :CN112538630A ,2021-03-23

[9]

一种铝合金蚀刻液及其制备方法、蚀刻工艺 [P].

卢嘉华 ;

贠潇 .

中国专利 :CN120945371A ,2025-11-14

[10]

一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液 [P].

刘悦 ;

贺兆波 ;

钟昌东 ;

张庭 ;

冯凯 ;

尹印 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

李鑫 ;

李金航 .

中国专利 :CN114369462A ,2022-04-19

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