高选择性含银合金膜的蚀刻液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311497128.9

申请日：

2023-11-10

公开(公告)号：

CN117684176A

公开(公告)日：

2024-03-12

发明(设计)人：

叶瑞黄锣锣贺兆波欧阳克银钟昌东张演哲黎鹏飞郑秋曈高楒羽张宗萍

申请人：

湖北兴福电子材料股份有限公司

申请人地址：

443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号

IPC主分类号：

C23F1/30

IPC分类号：

代理机构：

宜昌市三峡专利事务所 42103

代理人：

成钢

法律状态：

公开

国省代码：

湖北省宜昌市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-12	公开	公开
2024-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/30申请日:20231110

共 50 条

[1]

一种高选择性银蚀刻液及其制备方法、蚀刻工艺 [P].

王庆伟 ;

李明凯 ;

张虎 ;

刘庆五 ;

谭镇东 ;

刘文权 ;

秦海涛 ;

秦亚红 ;

周游 .

中国专利 :CN120758883A ,2025-10-10

[2]

一种镍或镍合金的选择性蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

王毅明 ;

朱霞 .

中国专利 :CN106702385A ,2017-05-24

[3]

选择性铁蚀刻液及蚀刻方法 [P].

陈修宁 ;

李建 ;

王扩军 ;

黄志齐 ;

黄京华 ;

王淑萍 .

中国专利 :CN103194755A ,2013-07-10

[4]

铜选择性蚀刻液和钛选择性蚀刻液 [P].

江月华 .

中国专利 :CN105603425A ,2016-05-25

[5]

一种选择性银蚀刻液 [P].

袁福根 ;

李理 .

中国专利 :CN108456886A ,2018-08-28

[6]

选择性氧化铟锡蚀刻液 [P].

李建 ;

陈修宁 ;

贺承相 ;

王淑萍 ;

黄京华 ;

黄志齐 .

中国专利 :CN103805203A ,2014-05-21

[7]

一种选择性铜及铜合金蚀刻液 [P].

李少平 ;

张宗萍 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

欧阳克银 ;

黄锣锣 ;

钟昌东 ;

张演哲 ;

黎鹏飞 ;

郑秋曈 ;

高楒羽 .

中国专利 :CN117604528A ,2024-02-27

[8]

一种选择性铜及铜合金蚀刻液 [P].

李少平 ;

张宗萍 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

欧阳克银 ;

黄锣锣 ;

钟昌东 ;

张演哲 ;

黎鹏飞 ;

郑秋曈 ;

高楒羽 .

中国专利 :CN117779035A ,2024-03-29

[9]

一种钼的选择性蚀刻液 [P].

贺兆波 ;

苏张轩 ;

罗佳杨 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

李素云 ;

樊澌 ;

班昌胜 ;

严凡 ;

李飞 .

中国专利 :CN119710705A ,2025-03-28

[10]

金属选择性蚀刻液 [P].

高桥秀树 ;

黑岩健次 ;

加藤胜 .

中国专利 :CN1847457B ,2006-10-18

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