研磨パッドおよび研磨装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20240033416

申请日：

2024-03-05

公开(公告)号：

JP2025135510A

公开(公告)日：

2025-09-18

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

B24B37/24

IPC分类号：

H01L21/304

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法律状态信息

共 50 条

[1]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007091439A1 ,2009-07-02

[2]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP2025135511A ,2025-09-18

[3]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

TATENO TEPPEI ;

TAKAMIZAWA YAMATO ;

OCHI KEISUKE ;

KAWASAKI TETSUAKI ;

MORIAKI RYOMA ;

YOSHIMOTO KO .

日本专利 :JP2025056986A ,2025-04-09

[4]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

TATENO TEPPEI ;

TAKAMIZAWA YAMATO ;

OCHI KEISUKE ;

KAWASAKI TETSUAKI ;

YOSHIMOTO KO .

日本专利 :JP2025056988A ,2025-04-09

[5]

研磨装置および研磨パッド[ja] [P].

日本专利 :JP7197999B2 ,2022-12-28

[6]

研磨パッド、研磨装置、および研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP7770849B2 ,2025-11-17

[7]

基板研磨装置および研磨パッド[ja] [P].

TERADA TETSUYA .

日本专利 :JP2024111949A ,2024-08-20

[8]

研磨パッド及び研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013118578A1 ,2015-05-11

[9]

研磨パッド寿命推定方法および研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7689937B2 ,2025-06-09

[10]

研磨ヘッドおよび研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7536601B2 ,2024-08-20

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