研磨パッド、研磨装置、および研磨方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20210164892

申请日：

2021-10-06

公开(公告)号：

JP7770849B2

公开(公告)日：

2025-11-17

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

B24B37/26

IPC分类号：

B24B37/005 B24B37/10 B24B37/24 B24B37/30 B24B37/32 H01L21/304

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日

法律状态

法律状态信息

共 50 条

[1]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP2025135510A ,2025-09-18

[2]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2007091439A1 ,2009-07-02

[3]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP2025135511A ,2025-09-18

[4]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

TATENO TEPPEI ;

TAKAMIZAWA YAMATO ;

OCHI KEISUKE ;

KAWASAKI TETSUAKI ;

MORIAKI RYOMA ;

YOSHIMOTO KO .

日本专利 :JP2025056986A ,2025-04-09

[5]

研磨パッドおよび研磨装置[ja] [P].

TATENO TEPPEI ;

TAKAMIZAWA YAMATO ;

OCHI KEISUKE ;

KAWASAKI TETSUAKI ;

YOSHIMOTO KO .

日本专利 :JP2025056988A ,2025-04-09

[6]

研磨装置および研磨パッド[ja] [P].

日本专利 :JP7197999B2 ,2022-12-28

[7]

基板研磨装置および研磨パッド[ja] [P].

TERADA TETSUYA .

日本专利 :JP2024111949A ,2024-08-20

[8]

研磨ヘッド、研磨装置、および研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025136814A ,2025-09-19

[9]

研磨装置、研磨方法、および研磨ヘッド[ja] [P].

日本专利 :JP2025137428A ,2025-09-19

[10]

研磨装置、研磨ヘッドおよび研磨方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2004028743A1 ,2006-01-26

← 1 2 3 4 5 →