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相移掩模坯、相移掩模坯的制造方法、相移掩模及相移掩模的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510349621.9
申请日：
2025-03-24
公开(公告)号：
CN120704049A
公开(公告)日：
2025-09-26
发明(设计)人：
望月圣 关根正弘 汐崎英治 江成雄一
申请人：
爱发科成膜株式会社
申请人地址：
日本崎玉县
IPC主分类号：
G03F1/26
IPC分类号：
H01L21/033 G03F1/68 G03F1/80
代理机构：
北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人：
辛雪花;朴圣洁
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-26 公开 公开
共 50 条
[1]
相移掩模坯料、相移掩模的制造方法及相移掩模 [P]. 
高坂卓郎 ;
松桥直树 ;
三村祥平 .
中国专利 :CN114200765A ,2022-03-18
[2]
相移掩模坯料、相移掩模的制造方法及相移掩模 [P]. 
高坂卓郎 ;
松桥直树 ;
三村祥平 .
日本专利 :CN114200765B ,2025-10-17
[3]
掩模坯、相移掩模、掩模坯的制法及相移掩模的制法 [P]. 
诸沢成浩 .
日本专利 :CN113406856B ,2024-10-25
[4]
相移掩模坯料、相移掩模的制造方法和相移掩模 [P]. 
三村祥平 ;
松桥直树 ;
高坂卓郎 .
中国专利 :CN114442420A ,2022-05-06
[5]
相移掩模坯、相移掩模和坯制备方法 [P]. 
稻月判臣 ;
高坂卓郎 .
中国专利 :CN106019808A ,2016-10-12
[6]
掩模坯、相移掩模、掩模坯的制法及相移掩模的制法 [P]. 
诸沢成浩 .
中国专利 :CN113406856A ,2021-09-17
[7]
相移掩模坯板、相移掩模及显示装置的制造方法 [P]. 
牛田正男 ;
坪井诚治 .
中国专利 :CN107229181B ,2017-10-03
[8]
相移掩模的制造方法、相移掩模以及显示装置的制造方法 [P]. 
中山宪治 .
中国专利 :CN113960877A ,2022-01-21
[9]
相移掩模坯料、相移掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 .
中国专利 :CN110196530A ,2019-09-03
[10]
相移掩模坯料、相移掩模的制造方法、及显示装置的制造方法 [P]. 
田边胜 ;
浅川敬司 .
日本专利 :CN110196530B ,2024-05-14
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