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相移掩模坯、相移掩模和坯制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610195474.5
申请日：
2016-03-31
公开(公告)号：
CN106019808A
公开(公告)日：
2016-10-12
发明(设计)人：
稻月判臣
高坂卓郎
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G03F126
IPC分类号：
代理机构：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人：
杜丽利
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-02 | 授权 | 授权 |
| 2018-05-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/26 申请日:20160331 |
| 2016-10-12 | 公开 | 公开 |