一种基于静电力自校准的MEMS扭矩传感器及标定方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510904160.7

申请日：

2025-07-01

公开(公告)号：

CN120740830A

公开(公告)日：

2025-10-03

发明(设计)人：

韦学勇宋嘉濠蔚行张智权

申请人：

西安交通大学

申请人地址：

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01L5/00

IPC分类号：

G01L1/25 G01L1/14 G01L25/00 B81B7/02

代理机构：

西安智大知识产权代理事务所 61215

代理人：

贺建斌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

陕西省西安市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 5/00申请日:20250701
2025-10-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种静电力调谐型MEMS电场传感器和检测方法 [P].

储昭志 ;

闻小龙 ;

杨鹏飞 ;

彭春荣 ;

夏善红 ;

刘宇涛 ;

吴双 .

中国专利 :CN114113814A ,2022-03-01

[2]

MEMS传感器及自校准方法 [P].

刘玉栋 ;

闫文明 ;

裴振伟 .

中国专利 :CN119334533A ,2025-01-21

[3]

扭矩传感器的标定设备及标定方法 [P].

黎源辉 ;

梁耀桓 ;

李海全 ;

张楚 .

中国专利 :CN118583366B ,2025-01-07

[4]

扭矩传感器的标定设备及标定方法 [P].

黎源辉 ;

梁耀桓 ;

李海全 ;

张楚 .

中国专利 :CN118583366A ,2024-09-03

[5]

一种具有自校准的扭矩传感器 [P].

张志雯 .

中国专利 :CN218378460U ,2023-01-24

[6]

利用静电力对电容式压力传感器的自校准 [P].

D·哈默施密特 .

中国专利 :CN105277313A ,2016-01-27

[7]

一种扭矩传感器标定方法 [P].

邹喜红 ;

施全 ;

石晓辉 ;

张志刚 ;

郝建军 ;

罗洋 ;

刘瑜 .

中国专利 :CN105466630B ,2016-04-06

[8]

一种扭矩传感器标定装置及标定方法 [P].

郑小帆 ;

孟益 ;

黄芬 ;

吴艳 ;

赵磊 ;

高丽丽 .

中国专利 :CN118999893A ,2024-11-22

[9]

一种扭矩传感器校准方法及装置 [P].

闵玥 ;

陈元杰 ;

尹瑞多 ;

何翔军 ;

谢晓斌 ;

马丙辉 ;

陈稼宁 ;

高吉 ;

王钢祥 ;

杨哲芦 ;

李海根 .

中国专利 :CN119223517B ,2025-05-02

[10]

一种扭矩传感器校准方法及装置 [P].

闵玥 ;

陈元杰 ;

尹瑞多 ;

何翔军 ;

谢晓斌 ;

马丙辉 ;

陈稼宁 ;

高吉 ;

王钢祥 ;

杨哲芦 ;

李海根 .

中国专利 :CN119223517A ,2024-12-31

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