一种静电力调谐型MEMS电场传感器和检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111408937.9

申请日：

2021-11-24

公开(公告)号：

CN114113814A

公开(公告)日：

2022-03-01

发明(设计)人：

储昭志闻小龙杨鹏飞彭春荣夏善红刘宇涛吴双

申请人：

申请人地址：

100089 北京市海淀区成府路45号中关村智造大街C座四层403

IPC主分类号：

G01R2912

IPC分类号：

代理机构：

北京维正专利代理有限公司 11508

代理人：

谢明晖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 29/12 申请日:20211124
2022-03-01	公开	公开

共 50 条

[1]

基于静电力和压阻效应的微型电场传感器件 [P].

何金良 ;

胡军 ;

韩志飞 ;

余占清 .

中国专利 :CN112505438A ,2021-03-16

[2]

一种自适应型MEMS电场传感器及其结构 [P].

储昭志 ;

杨鹏飞 ;

闻小龙 ;

彭春荣 ;

夏善红 ;

刘宇涛 ;

吴双 .

中国专利 :CN114113813B ,2022-03-01

[3]

一种基于静电力自校准的MEMS扭矩传感器及标定方法 [P].

韦学勇 ;

宋嘉濠 ;

蔚行 ;

张智权 .

中国专利 :CN120740830A ,2025-10-03

[4]

一种自适应型的MEMS电场传感器及系统 [P].

杨鹏飞 ;

李晓南 ;

顾羽 .

中国专利 :CN121164737A ,2025-12-19

[5]

一种基于静电力和压阻效应耦合的微型电场传感器件 [P].

谢从珍 ;

林柏森 ;

王纪港 ;

余松 ;

黄奕琅 ;

黄梦成 .

中国专利 :CN119246976B ,2025-07-22

[6]

一种基于静电力和压阻效应耦合的微型电场传感器件 [P].

谢从珍 ;

林柏森 ;

王纪港 ;

余松 ;

黄奕琅 ;

黄梦成 .

中国专利 :CN119246976A ,2025-01-03

[7]

一种制备压电驱动MEMS电场传感器的工艺方法 [P].

杨庆 ;

柯锟 ;

廖伟 ;

邱震辉 .

中国专利 :CN116040577B ,2025-08-26

[8]

电场传感器组件及电场检测方法 [P].

杨鹏飞 ;

储昭志 ;

闻小龙 ;

吴双 .

中国专利 :CN119510910B ,2025-08-12

[9]

电场传感器组件及电场检测方法 [P].

杨鹏飞 ;

储昭志 ;

闻小龙 ;

吴双 .

中国专利 :CN119510910A ,2025-02-25

[10]

宽频带电场传感器、电场传感器组件及电场检测方法 [P].

杨鹏飞 ;

闻小龙 ;

储昭志 ;

吴双 .

中国专利 :CN119510913A ,2025-02-25

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