一种基于静电力和压阻效应耦合的微型电场传感器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411397818.1

申请日：

2024-10-09

公开(公告)号：

CN119246976B

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

谢从珍林柏森王纪港余松黄奕琅黄梦成

申请人：

华南理工大学

申请人地址：

510641 广东省广州市天河区五山路381号

IPC主分类号：

G01R29/12

IPC分类号：

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

叶洁勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01R 29/12申请日:20241009
2025-07-22	授权	授权
2025-01-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于静电力和压阻效应耦合的微型电场传感器件 [P].

谢从珍 ;

林柏森 ;

王纪港 ;

余松 ;

黄奕琅 ;

黄梦成 .

中国专利 :CN119246976A ,2025-01-03

[2]

基于静电力和压阻效应的微型电场传感器件 [P].

何金良 ;

胡军 ;

韩志飞 ;

余占清 .

中国专利 :CN112505438A ,2021-03-16

[3]

基于静电力和压阻效应的微型电场传感器件的制备工艺流程 [P].

何金良 ;

韩志飞 ;

胡军 ;

余占清 .

中国专利 :CN112573477B ,2021-03-30

[4]

基于压电效应和压阻效应多模态耦合的微型电场传感器件 [P].

何金良 ;

胡军 ;

韩志飞 ;

薛芬 ;

王善祥 ;

张波 ;

曾嵘 .

中国专利 :CN109212326A ,2019-01-15

[5]

一种基于电化学掺杂效应的微型电场传感器 [P].

赵孝磊 ;

李陆明 ;

尹毅 ;

于凯 ;

蒋莉梅 ;

赵谡 ;

王亚林 ;

吴建东 .

中国专利 :CN120446607A ,2025-08-08

[6]

一种静电力调谐型MEMS电场传感器和检测方法 [P].

储昭志 ;

闻小龙 ;

杨鹏飞 ;

彭春荣 ;

夏善红 ;

刘宇涛 ;

吴双 .

中国专利 :CN114113814A ,2022-03-01

[7]

一种基于压电薄膜形变的差动式微型电场传感器件 [P].

何金良 ;

韩志飞 ;

胡军 ;

张波 .

中国专利 :CN113640591B ,2021-11-12

[8]

基于逆压电效应的电容-悬臂梁微型式电场测量传感器件 [P].

何金良 ;

胡军 ;

韩志飞 ;

薛芬 ;

余占清 ;

曾嵘 ;

张波 ;

李琦 ;

庄池杰 .

中国专利 :CN111017861A ,2020-04-17

[9]

基于多结构耦合的微型电场传感器及其制备方法 [P].

彭春荣 ;

修日 ;

任仁 ;

毋正伟 ;

夏善红 .

中国专利 :CN112540239B ,2021-03-23

[10]

一种电场力驱动的悬臂式微型电场传感器 [P].

何金良 ;

韩志飞 ;

胡军 ;

余占清 .

中国专利 :CN114113812B ,2022-03-01

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