一种晶圆环变距上料装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422648219.4

申请日：

2024-10-31

公开(公告)号：

CN223390516U

公开(公告)日：

2025-09-26

发明(设计)人：

税小明徐会首

申请人：

无锡固翌智能科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市惠山区惠畅路101号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

无锡佳信专利代理事务所(普通合伙) 32505

代理人：

宋亚超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-26	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆环上料装置 [P].

陈平 ;

韦海成 ;

谢慧 ;

吴勇 .

中国专利 :CN222365573U ,2025-01-17

[2]

一种晶圆环上料装置 [P].

刘红军 .

中国专利 :CN215703032U ,2022-02-01

[3]

一种变距上料装置 [P].

杨顺 ;

唐岩岐 ;

蔡纯 .

中国专利 :CN216582936U ,2022-05-24

[4]

变距磁性上料装置 [P].

王炳生 ;

杜万鹏 ;

李国庆 .

中国专利 :CN211003542U ,2020-07-14

[5]

变距上料装置 [P].

王欢 ;

张泳彬 ;

李养德 ;

邓明星 ;

殷火初 ;

李斌 ;

王世峰 ;

刘金成 .

中国专利 :CN115557218A ,2023-01-03

[6]

变距上料装置 [P].

赵江涛 ;

张轲 ;

杨鹏 ;

张鸽 .

中国专利 :CN212863136U ,2021-04-02

[7]

一种变距上料机构 [P].

余小波 ;

沈继强 .

中国专利 :CN211545204U ,2020-09-22

[8]

一种晶圆检测上料装置 [P].

彭义青 ;

冼平东 ;

黄明春 ;

容金波 ;

吴述林 ;

黄为民 ;

周厚利 .

中国专利 :CN222146163U ,2024-12-10

[9]

一种具有异形磁铁的变距上料装置 [P].

罗松柏 ;

郑向阳 ;

曹璐 ;

高飞 ;

钟逸龙 ;

胡剑华 .

中国专利 :CN211470024U ,2020-09-11

[10]

变距机构及采用该变距机构的上料装置 [P].

曾利民 ;

胡楚文 .

中国专利 :CN211997668U ,2020-11-24

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