一种蚀刻液及其制备方法与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310395606.9

申请日：

2023-04-12

公开(公告)号：

CN116411278B

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

张伟明聂航章学春沈楠李玉兴

申请人：

合肥盛剑微电子有限公司

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区项王西路与通宝路交口东北角1号

IPC主分类号：

C23F1/26

IPC分类号：

C23F1/20 C23F1/02

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

颜欢

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	授权	授权
2025-09-23	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移IPC(主分类):C23F 1/26登记生效日:20250908变更事项:申请人变更前权利人:上海盛剑微电子有限公司变更后权利人:合肥盛剑微电子有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:201400 上海市奉贤区上海化学工业区目华路201号1幢20层2006室变更后权利人:230012 安徽省合肥市新站区项王西路与通宝路交口东北角1号

共 50 条

[1]

一种银蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

刘路 ;

赵建国 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN120485781A ,2025-08-15

[2]

一种铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

袁明军 ;

毕春雷 .

中国专利 :CN118064895A ,2024-05-24

[3]

一种铝蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

袁明军 ;

徐瑶 ;

毕春雷 .

中国专利 :CN118996422A ,2024-11-22

[4]

蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

周志强 ;

胡秋雨 ;

袁明军 ;

李治文 ;

钟上彪 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN114752939A ,2022-07-15

[5]

蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

梁晓 ;

唐洪 ;

田博 .

中国专利 :CN103755147B ,2014-04-30

[6]

蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

周志强 ;

胡秋雨 ;

袁明军 ;

李治文 ;

钟上彪 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN114752939B ,2024-07-16

[7]

一种铜蚀刻液及蚀刻液的制备方法、蚀刻方法、应用 [P].

徐杨 ;

李涛 ;

朱龙 ;

殷福华 ;

邵勇 ;

陈林 ;

任奕宇 ;

顾梦佳 .

中国专利 :CN117802502A ,2024-04-02

[8]

一种中性铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

周志强 ;

袁明军 ;

徐瑶 .

中国专利 :CN119859802A ,2025-04-22

[9]

一种蚀刻液及其应用 [P].

吴志辉 ;

严为刚 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN120738647A ,2025-10-03

[10]

一种铜蚀刻液及其制备方法与玻璃基板铜的蚀刻方法 [P].

杨志锋 ;

何剑明 ;

宋振 .

中国专利 :CN115786916B ,2025-10-31

← 1 2 3 4 5 →