一种U型自支撑靶膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310554135.1

申请日：

2023-05-17

公开(公告)号：

CN116752086B

公开(公告)日：

2025-09-30

发明(设计)人：

樊启文孟波任杰阮锡超王华张榕

申请人：

中国原子能科学研究院

申请人地址：

102413 北京市房山区新镇三强路1号院

IPC主分类号：

C23C14/06

IPC分类号：

C23C14/12 C23C14/22

代理机构：

北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311

代理人：

任晓航;文永明

法律状态：

授权

国省代码：

内蒙古自治区通辽市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-30	授权	授权

共 50 条

[1]

自支撑靶膜的制备方法及制备装置 [P].

赵冠超 ;

代玲玲 ;

魏彦存 ;

耿金峰 ;

王志辛 ;

齐会龙 ;

聂革 .

中国专利 :CN112981341A ,2021-06-18

[2]

一种无脱膜剂的自支撑靶膜的制备方法 [P].

赵冠超 ;

魏彦存 ;

耿金峰 ;

孟垂舟 ;

陈培培 .

中国专利 :CN114182219A ,2022-03-15

[3]

一种无脱膜剂的自支撑靶膜的制备方法 [P].

赵冠超 ;

魏彦存 ;

耿金峰 ;

孟垂舟 ;

陈培培 .

中国专利 :CN114182219B ,2024-04-09

[4]

自支撑玻璃膜的制备 [P].

笠井纪宏 .

中国专利 :CN101410336A ,2009-04-15

[5]

一种自支撑微米铜箔的制备方法 [P].

晏梦雨 ;

周旸 .

中国专利 :CN110004404A ,2019-07-12

[6]

自支撑材料的制备方法 [P].

周军双 ;

位阔 ;

宋敬伟 ;

戴文静 ;

尹宏瑛 ;

栾孙锐 ;

高发明 .

中国专利 :CN110492093A ,2019-11-22

[7]

一种自支撑电极的制备方法及其应用 [P].

俞红梅 ;

那靖辰 ;

迟军 ;

贾森元 ;

吕凯秋 ;

邵志刚 .

中国专利 :CN117324775A ,2024-01-02

[8]

一种含氘金属薄膜靶的制备方法 [P].

王韬 ;

龙继东 ;

黄刚 ;

杨振 ;

蓝朝晖 ;

向军 ;

彭宇飞 ;

刘平 ;

刘尔祥 ;

吕璐 .

中国专利 :CN106544628B ,2017-03-29

[9]

一种自支撑掺硼金刚石催化材料的制备方法 [P].

张贵锋 ;

李宗艺 ;

索妮 ;

侯晓多 ;

吴爱民 ;

黄昊 .

中国专利 :CN106830205B ,2017-06-13

[10]

一种吸氚靶片制备方法 [P].

杨洪广 ;

宋应民 ;

何长水 .

中国专利 :CN104602438A ,2015-05-06

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