晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422645592.4

申请日：

2024-10-31

公开(公告)号：

CN223390538U

公开(公告)日：

2025-09-26

发明(设计)人：

万先进邬龙威朱松谢亚楠魏兴亮锁志勇边逸军

申请人：

宁波芯丰精密科技有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67 B08B1/10 B08B1/32 B08B1/20 B08B13/00

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

唐晓晖

法律状态：

授权

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-26	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN218282848U ,2023-01-13

[2]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 .

中国专利 :CN111009484B ,2020-04-14

[3]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

吴奇龙 .

中国专利 :CN112864043A ,2021-05-28

[4]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

董鹏 .

中国专利 :CN113690127A ,2021-11-23

[5]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

杨俊铖 .

中国专利 :CN112974324B ,2021-06-18

[6]

晶圆清洗装置及晶圆清洗系统 [P].

赵宝君 ;

祝福生 ;

张伟锋 ;

袁恋 ;

王文丽 ;

夏楠君 .

中国专利 :CN110047788B ,2019-07-23

[7]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[8]

晶圆清洗刷及晶圆清洗装置 [P].

董文杰 ;

王怀锋 ;

余文军 ;

黄孝鹏 .

中国专利 :CN202621481U ,2012-12-26

[9]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

宋受壮 ;

蔡长益 ;

林禄渊 .

中国专利 :CN113078078A ,2021-07-06

[10]

晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

单保淋 ;

王冬冬 ;

田鑫 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220672529U ,2024-03-26

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