一种MEMS惯性传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510886315.9

申请日：

2025-06-30

公开(公告)号：

CN120403623B

公开(公告)日：

2025-10-03

发明(设计)人：

黄晟李钊汪超王春水刘翔天杜全沛

申请人：

武汉衡惯科技发展有限公司

申请人地址：

430206 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号武汉未来科技城龙山创新园一期B3栋10楼1131（自贸区武汉片区）

IPC主分类号：

G01C21/16

IPC分类号：

G01C25/00 B81B7/02 B81C1/00 B81C3/00

代理机构：

北京汇泽知识产权代理有限公司 11228

代理人：

吴俣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	授权	授权
2025-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01C 21/16申请日:20250630
2025-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种MEMS惯性传感器及其制造方法 [P].

黄晟 ;

李钊 ;

汪超 ;

王春水 ;

刘翔天 ;

杜全沛 .

中国专利 :CN120403623A ,2025-08-01

[2]

一种MEMS惯性传感器及惯性测量装置 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 .

中国专利 :CN220625323U ,2024-03-19

[3]

一种MEMS惯性传感器及其制造方法 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN104819730A ,2015-08-05

[4]

一种MEMS惯性传感器及其制造方法 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN104891419A ,2015-09-09

[5]

微机电系统及其MEMS惯性传感器、制造方法 [P].

张拴 ;

杨云春 ;

马琳 ;

陆原 ;

郭鹏飞 .

中国专利 :CN113551672A ,2021-10-26

[6]

一种集成化MEMS惯性传感器 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 ;

蔡喜元 ;

魏晓莉 ;

贾蔓谷 ;

丁铮 .

中国专利 :CN221797052U ,2024-10-01

[7]

一种MEMS多轴惯性传感器 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 ;

蔡喜元 ;

魏晓莉 ;

贾蔓谷 ;

丁铮 .

中国专利 :CN118465308A ,2024-08-09

[8]

MEMS惯性传感器、湿度传感器集成装置及其制造方法 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN105115540B ,2015-12-02

[9]

一种MEMS惯性传感器件及其制造方法 [P].

李文翔 .

中国专利 :CN105621348A ,2016-06-01

[10]

一种MEMS惯性传感器芯片模组以及MEMS传感器 [P].

虢晓双 ;

杨靖 ;

张新凯 ;

熊亮 ;

黎傲雪 ;

彭健 .

中国专利 :CN215364898U ,2021-12-31

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