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一种集成化MEMS惯性传感器

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420180461.0
申请日：
2024-01-25
公开(公告)号：
CN221797052U
公开(公告)日：
2024-10-01
发明(设计)人：
黄晟 蔡光艳 蔡喜元 魏晓莉 贾蔓谷 丁铮
申请人：
武汉衡惯科技发展有限公司
申请人地址：
430206 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号武汉未来科技城龙山创新园一期B3栋10楼1131（自贸区武汉片区）
IPC主分类号：
B81B7/02
IPC分类号：
B81B7/00 G01P15/08 G01C19/00
代理机构：
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人：
吴静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-10-01 授权 授权
共 50 条
[1]
一种MEMS惯性传感器及惯性测量装置 [P]. 
黄晟 ;
蔡光艳 .
中国专利 :CN220625323U ,2024-03-19
[2]
集成化传感器 [P]. 
关生 ;
张国芳 ;
周俊 .
中国专利 :CN206132554U ,2017-04-26
[3]
MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN204675826U ,2015-09-30
[4]
MEMS惯性传感器、湿度传感器集成装置 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN204758028U ,2015-11-11
[5]
一种MEMS惯性传感器及其制造方法 [P]. 
黄晟 ;
李钊 ;
汪超 ;
王春水 ;
刘翔天 ;
杜全沛 .
中国专利 :CN120403623A ,2025-08-01
[6]
一种MEMS惯性传感器及其制造方法 [P]. 
黄晟 ;
李钊 ;
汪超 ;
王春水 ;
刘翔天 ;
杜全沛 .
中国专利 :CN120403623B ,2025-10-03
[7]
一种MEMS惯性传感器 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN204555991U ,2015-08-12
[8]
一种MEMS惯性传感器 [P]. 
黄晟 ;
蔡光艳 ;
蔡喜元 ;
魏晓莉 ;
贾蔓谷 ;
丁铮 .
中国专利 :CN221686403U ,2024-09-10
[9]
一种MEMS惯性传感器 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN204758628U ,2015-11-11
[10]
MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN104891418A ,2015-09-09
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