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一种MEMS惯性器件及其制造工艺

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511196622.0
申请日：
2025-08-26
公开(公告)号：
CN120721071A
公开(公告)日：
2025-09-30
发明(设计)人：
黄晟 蔡光艳 魏晓莉 蔡喜元 罗戴钟 丁铮 徐佳
申请人：
武汉衡惯科技发展有限公司
申请人地址：
430206 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号武汉未来科技城龙山创新园一期B3栋10楼1131（自贸区武汉片区）
IPC主分类号：
G01C21/16
IPC分类号：
G01C25/00 B81B7/02 B81B7/00 B81C1/00 B81C3/00
代理机构：
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人：
吴俣
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-30 公开 公开
2025-10-21 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01C 21/16申请日:20250826
共 50 条
[1]
一种MEMS惯性器件及其键合工艺 [P]. 
黄晟 ;
蔡光艳 ;
魏晓莉 ;
蔡喜元 ;
罗戴钟 ;
丁铮 ;
徐佳 .
中国专利 :CN120740577A ,2025-10-03
[2]
一种MEMS惯性器件及其制造方法 [P]. 
黄晟 ;
李钊 ;
汪超 ;
王春水 ;
刘翔天 ;
杜全沛 .
中国专利 :CN120385324A ,2025-07-29
[3]
一种MEMS惯性器件及其制造方法 [P]. 
黄晟 ;
李钊 ;
汪超 ;
王春水 ;
刘翔天 ;
杜全沛 .
中国专利 :CN120385324B ,2025-09-30
[4]
MEMS惯性器件 [P]. 
李军岐 .
中国专利 :CN205373719U ,2016-07-06
[5]
MEMS惯性器件 [P]. 
李军岐 .
中国专利 :CN106813660A ,2017-06-09
[6]
MEMS惯性器件的制备方法及MEMS惯性器件 [P]. 
张兆林 .
中国专利 :CN120622404A ,2025-09-12
[7]
MEMS惯性器件的制备方法及MEMS惯性器件 [P]. 
张兆林 .
中国专利 :CN120622404B ,2025-12-05
[8]
一种MEMS惯性器件测试系统 [P]. 
卢新艳 ;
任臣 ;
郑锋 ;
许鹏 ;
杨拥军 .
中国专利 :CN114111844B ,2024-04-16
[9]
一种MEMS惯性器件测试系统 [P]. 
卢新艳 ;
任臣 ;
郑锋 ;
许鹏 ;
杨拥军 .
中国专利 :CN114111844A ,2022-03-01
[10]
一种MEMS惯性器件的标定方法 [P]. 
刘宁 ;
宋一平 ;
张智境 ;
卫炳乾 ;
张小宇 ;
赵春博 ;
苏中 ;
付国栋 ;
李擎 ;
李羚 .
中国专利 :CN112577514A ,2021-03-30
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