MEMS惯性器件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520978546.4

申请日：

2015-11-30

公开(公告)号：

CN205373719U

公开(公告)日：

2016-07-06

发明(设计)人：

李军岐

申请人：

申请人地址：

722400 陕西省宝鸡市岐山县京当镇京当村霍一组010号

IPC主分类号：

G01C2116

IPC分类号：

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

宋秀珍

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C 21/16 申请日:20151130 授权公告日:20160706 终止日期:20161130
2016-07-06	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS惯性器件 [P].

李军岐 .

中国专利 :CN106813660A ,2017-06-09

[2]

MEMS惯性器件的制备方法及MEMS惯性器件 [P].

张兆林 .

中国专利 :CN120622404A ,2025-09-12

[3]

MEMS惯性器件的制备方法及MEMS惯性器件 [P].

张兆林 .

中国专利 :CN120622404B ,2025-12-05

[4]

降低MEMS惯性器件封装应力的方法及MEMS器件 [P].

赵万良 ;

段杰 ;

成宇翔 ;

李绍良 ;

应俊 ;

白沐炎 .

中国专利 :CN111039255A ,2020-04-21

[5]

一种MEMS惯性器件测试系统 [P].

卢新艳 ;

任臣 ;

郑锋 ;

许鹏 ;

杨拥军 .

中国专利 :CN114111844B ,2024-04-16

[6]

一种MEMS惯性器件测试系统 [P].

卢新艳 ;

任臣 ;

郑锋 ;

许鹏 ;

杨拥军 .

中国专利 :CN114111844A ,2022-03-01

[7]

MEMS惯性器件结构及制作方法 [P].

黄晟 ;

周元 ;

李钊 ;

汪超 ;

王春水 .

中国专利 :CN120483031A ,2025-08-15

[8]

MEMS惯性器件结构及制作方法 [P].

黄晟 ;

周元 ;

李钊 ;

汪超 ;

王春水 .

中国专利 :CN120483031B ,2025-09-30

[9]

一种MEMS惯性器件及其制造工艺 [P].

黄晟 ;

蔡光艳 ;

魏晓莉 ;

蔡喜元 ;

罗戴钟 ;

丁铮 ;

徐佳 .

中国专利 :CN120721071A ,2025-09-30

[10]

一种MEMS惯性器件及其制造方法 [P].

黄晟 ;

李钊 ;

汪超 ;

王春水 ;

刘翔天 ;

杜全沛 .

中国专利 :CN120385324A ,2025-07-29

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