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一种翘曲晶圆真空吸附撕膜平台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510945897.3
申请日：
2025-07-09
公开(公告)号：
CN120784203A
公开(公告)日：
2025-10-14
发明(设计)人：
周鹏程
戚孝峰
申请人：
争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215141 江苏省苏州市相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
江苏无锡苏汇专利代理事务所(普通合伙) 32593
代理人：
丁晨
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-14 | 公开 | 公开 |
| 2025-12-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250709 |