一种适用翘曲晶圆的真空吸附划片机结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420838129.9

申请日：

2024-04-22

公开(公告)号：

CN222690658U

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

雷志杰许祥辉

申请人：

长电集成电路（绍兴）有限公司

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市临江路500号

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

深圳市育科知识产权代理有限公司 44509

代理人：

朱琼辉

法律状态：

授权

国省代码：

吉林省白山市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘 [P].

于飞 ;

廖海燕 ;

张智广 ;

廖招军 ;

李旺军 .

中国专利 :CN218004820U ,2022-12-09

[2]

一种翘曲晶圆真空吸附撕膜平台 [P].

周鹏程 ;

戚孝峰 .

中国专利 :CN120784203A ,2025-10-14

[3]

真空吸附系统、划片机及真空吸附系统的控制方法 [P].

周鑫 ;

刘炳先 ;

孙志超 ;

李禹佟 .

中国专利 :CN119361514A ,2025-01-24

[4]

一种真空吸附晶圆的装置 [P].

彭逆舟 .

中国专利 :CN206901306U ,2018-01-19

[5]

用于划片机的吸附工作盘及晶圆吸附控制方法、划片机 [P].

郑庆洋 ;

余胡平 ;

孙兴运 ;

刘宏文 ;

张海岩 ;

徐鹏 ;

李文龙 .

中国专利 :CN121043013A ,2025-12-02

[6]

一种可用于翘曲晶圆的旋转吸附装置 [P].

郭生华 ;

戴红峰 ;

胡嗣卓 ;

于宏嘉 .

中国专利 :CN222320221U ,2025-01-07

[7]

一种划片机真空吸附旋转工作台 [P].

熊世伟 ;

曹戈晔 .

中国专利 :CN221561856U ,2024-08-20

[8]

一种边缘防翘曲真空吸附装夹机构 [P].

王旭 .

中国专利 :CN115648083A ,2023-01-31

[9]

一种晶圆高速旋转真空吸附主轴 [P].

魏猛 ;

张爽 .

中国专利 :CN209071304U ,2019-07-05

[10]

一种晶圆高速旋转真空吸附主轴 [P].

魏猛 ;

张爽 .

中国专利 :CN109461692A ,2019-03-12

← 1 2 3 4 5 →