用于磁控溅射的智能化PVD控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410376650.X

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN120719262A

公开(公告)日：

2025-09-30

发明(设计)人：

请求不公布姓名

申请人：

浙江众能半导体科技有限公司

申请人地址：

310000 浙江省杭州市江干区同协路1279号西子智慧产业园7号楼101室

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642

代理人：

苏天功

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-30	公开	公开
2025-10-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20240329

共 50 条

[1]

智能化路灯控制系统 [P].

李和云 ;

惠向召 .

中国专利 :CN102573180A ,2012-07-11

[2]

智能化路灯控制系统 [P].

李和云 ;

惠向召 .

中国专利 :CN201919214U ,2011-08-03

[3]

磁控溅射控制系统及其控制方法 [P].

李晓强 ;

兰玥 ;

侯珏 ;

文莉辉 .

中国专利 :CN110484884A ,2019-11-22

[4]

智能化控制系统 [P].

余宗伟 .

中国专利 :CN107797524A ,2018-03-13

[5]

适用于顶推系统的智能化同步恒力控制系统 [P].

刘建委 ;

余龙飞 ;

陈鹏 ;

王鹤翔 ;

刘富成 ;

马浩凯 ;

李浩然 ;

尹振营 ;

王庆 ;

潘政军 .

中国专利 :CN120119572A ,2025-06-10

[6]

校直机智能化控制系统 [P].

司兴奎 ;

王萍萍 .

中国专利 :CN202837943U ,2013-03-27

[7]

液压旋回破的智能化控制系统 [P].

宋吾力 ;

鹿秀霞 ;

刘照军 ;

尚玉莲 .

中国专利 :CN103861721B ,2014-06-18

[8]

智能化电梯控制系统 [P].

罗庆青 ;

郑旭山 ;

郑泽荣 ;

黄育汉 .

中国专利 :CN203715004U ,2014-07-16

[9]

智能化锅炉控制系统 [P].

李凌 .

中国专利 :CN104141949A ,2014-11-12

[10]

智能化门禁控制系统 [P].

李文杰 .

中国专利 :CN212624215U ,2021-02-26

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