外延设备用的进气板、外延设备用的分流组件、外延设备用的分流件及外延设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511189028.9

申请日：

2025-08-22

公开(公告)号：

CN120738756A

公开(公告)日：

2025-10-03

发明(设计)人：

徐永宝胡正杰侯翔宇季兴军徐琤周利明

申请人：

上海华虹宏力半导体制造有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

C30B25/14

IPC分类号：

C30B25/16 C23C16/455 C23C16/52

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴磊

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	公开	公开
2025-10-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/14申请日:20250822

共 50 条

[1]

外延设备用连接结构 [P].

曹建伟 ;

刘毅 ;

傅林坚 ;

朱亮 ;

谢文 ;

陈文杰 .

中国专利 :CN222251123U ,2024-12-27

[2]

用于外延设备的进气装置以及外延设备 [P].

张高伟 ;

刘敬彬 .

中国专利 :CN111472046B ,2020-07-31

[3]

用于外延设备的支撑组件及外延设备 [P].

曹共柏 ;

潘帅 .

中国专利 :CN115458446A ,2022-12-09

[4]

硅外延设备用喷淋装置 [P].

李志强 ;

陈秉克 ;

赵丽霞 ;

袁肇耿 ;

王刚 ;

张志勤 .

中国专利 :CN206768275U ,2017-12-19

[5]

外延设备及外延设备的清理方法 [P].

吕健 ;

颜强 ;

谭俊 .

中国专利 :CN120575330A ,2025-09-02

[6]

一种碳化硅外延设备用加热装置及外延设备 [P].

王威威 ;

张哲伟 ;

曹毅 .

中国专利 :CN221837147U ,2024-10-15

[7]

外延设备的气浮传输系统、方法及外延设备 [P].

高桑田 ;

梁启恒 ;

毛朝斌 ;

戴科峰 ;

王鑫 ;

仇礼钦 .

中国专利 :CN115627531B ,2024-10-22

[8]

外延设备的气浮传输系统、方法及外延设备 [P].

高桑田 ;

梁启恒 ;

毛朝斌 ;

戴科峰 ;

王鑫 ;

仇礼钦 .

中国专利 :CN115627531A ,2023-01-20

[9]

外延基座及外延设备 [P].

曹共柏 ;

潘帅 ;

俞登永 ;

张斌 .

中国专利 :CN217077861U ,2022-07-29

[10]

外延基座及外延设备 [P].

董晨华 ;

林志鑫 ;

季文明 ;

牛景豪 .

中国专利 :CN108950680A ,2018-12-07

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