用于外延设备的支撑组件及外延设备

被引：0

申请号：

CN202211250724.2

申请日：

2022-10-12

公开(公告)号：

CN115458446A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

曹共柏潘帅

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云水路1000号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851

代理人：

罗洋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	公开	公开
2022-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20221012

共 50 条

[1]

用于外延生长设备的支撑结构、外延生长设备及外延晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118910720A ,2024-11-08

[2]

一种旋转支撑组件及外延设备 [P].

牛建新 .

中国专利 :CN223163527U ,2025-07-29

[3]

外延基座及外延设备 [P].

曹共柏 ;

潘帅 ;

俞登永 ;

张斌 .

中国专利 :CN217077861U ,2022-07-29

[4]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814269A ,2024-10-22

[5]

用于外延设备的基座以及外延生长设备 [P].

盛方毓 .

中国专利 :CN111235551B ,2020-06-05

[6]

外延基座以及外延设备 [P].

曹共柏 ;

王华杰 ;

王佳 ;

郑华浩 ;

林明献 ;

李炜 .

中国专利 :CN222294262U ,2025-01-03

[7]

一种用于外延设备的测温装置及外延设备 [P].

曹岩 ;

牛景豪 .

中国专利 :CN112481696A ,2021-03-12

[8]

用于支撑基片托盘的支撑组件及外延层生长设备 [P].

傅时梁 ;

林道震 ;

张逸杰 ;

徐义 .

中国专利 :CN221304657U ,2024-07-09

[9]

外延设备用的进气板、外延设备用的分流组件、外延设备用的分流件及外延设备 [P].

徐永宝 ;

胡正杰 ;

侯翔宇 ;

季兴军 ;

徐琤 ;

周利明 .

中国专利 :CN120738756A ,2025-10-03

[10]

外延设备及外延设备的清理方法 [P].

吕健 ;

颜强 ;

谭俊 .

中国专利 :CN120575330A ,2025-09-02

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