共 50 条
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用于外延生长设备的支撑结构、外延生长设备及外延晶圆
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410964402.7
申请日：
2024-07-18
公开(公告)号：
CN118910720A
公开(公告)日：
2024-11-08
发明(设计)人：
梁鹏欢
申请人：
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址：
710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
IPC主分类号：
C30B25/12
IPC分类号：
代理机构：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253
代理人：
王琛;宋东阳
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-08 | 公开 | 公开 |
| 2024-11-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/12申请日:20240718 |