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一种抛光垫沟槽在线修整方法及装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511214108.5
申请日：
2025-08-28
公开(公告)号：
CN120734913A
公开(公告)日：
2025-10-03
发明(设计)人：
周远鹏 喻康
申请人：
杭州众硅电子科技有限公司
申请人地址：
310000 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
IPC主分类号：
B24B53/017
IPC分类号：
B24B57/02
代理机构：
杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267
代理人：
邵志
法律状态：
授权
国省代码：
浙江省 杭州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-05 授权 授权
2025-10-03 公开 公开
2025-10-24 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 53/017申请日:20250828
共 50 条
[1]
一种抛光垫沟槽在线修整方法及装置 [P]. 
周远鹏 ;
喻康 .
中国专利 :CN120734913B ,2025-12-05
[2]
抛光垫的修整方法、修整装置、抛光垫及双面抛光装置 [P]. 
白宗权 ;
具成旻 ;
崔世勋 ;
李昀泽 .
中国专利 :CN109551360B ,2019-04-02
[3]
抛光垫修整装置及修整方法 [P]. 
魏昕 ;
熊伟 ;
袁慧 ;
胡伟 .
中国专利 :CN1792553B ,2006-06-28
[4]
抛光装置和抛光装置在线修整方法 [P]. 
胡自化 ;
张阳阳 ;
封龙龙 ;
秦长江 ;
陈小告 .
中国专利 :CN115533753B ,2024-06-14
[5]
抛光装置和抛光装置在线修整方法 [P]. 
胡自化 ;
张阳阳 ;
封龙龙 ;
秦长江 ;
陈小告 .
中国专利 :CN115533753A ,2022-12-30
[6]
抛光垫修整装置和抛光垫修整方法 [P]. 
王浩 .
中国专利 :CN117718887A ,2024-03-19
[7]
抛光垫修整装置和抛光垫修整方法 [P]. 
郑凯铭 .
中国专利 :CN111775044A ,2020-10-16
[8]
一种抛光垫的修整装置及修整方法 [P]. 
赵晟佑 .
中国专利 :CN110625528B ,2019-12-31
[9]
抛光垫修整器、抛光垫修整装置及抛光系统 [P]. 
姚力军 ;
大岩一彦 ;
相原俊夫 ;
潘杰 ;
王学泽 .
中国专利 :CN104209864A ,2014-12-17
[10]
一种用于CMP设备抛光垫沟槽修整的方法 [P]. 
张明琦 ;
盛思杰 .
中国专利 :CN117245557B ,2025-10-03
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