一种脆性材料的激光加工系统及加工方法

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专利类型
发明
申请号
CN202110220425.3
申请日
2021-02-26
公开(公告)号
CN115041815B
公开(公告)日
2025-10-10
发明(设计)人
张小军 任莉娜 邱越渭 曾志刚 李一龄 胡辉 苑学瑞 卢建刚 尹建刚 高云峰
申请人
深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101
IPC主分类号
B23K26/073
IPC分类号
B23K26/38 B23K26/70
代理机构
深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385
代理人
杨晖琼
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
一种脆性材料的激光加工系统及加工方法 [P]. 
张小军 ;
任莉娜 ;
邱越渭 ;
曾志刚 ;
李一龄 ;
胡辉 ;
苑学瑞 ;
卢建刚 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN115041815A ,2022-09-13
[2]
一种硬脆性材料的激光加工方法及激光加工系统 [P]. 
潘凯 ;
庄昌辉 ;
冯玙璠 ;
温喜章 ;
黄显东 ;
陈治贤 ;
戴剑 ;
肖骐 ;
吴灏淮 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN109570778A ,2019-04-05
[3]
一种脆性材料的激光加工装置及加工方法 [P]. 
张小军 ;
任莉娜 ;
邱越渭 ;
胡辉 ;
李友强 ;
苑学瑞 ;
卢建刚 ;
孙杰 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN115041814A ,2022-09-13
[4]
一种脆性材料的激光加工装置及加工方法 [P]. 
张小军 ;
任莉娜 ;
邱越渭 ;
胡辉 ;
李友强 ;
苑学瑞 ;
卢建刚 ;
孙杰 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN115041814B ,2024-11-12
[5]
透明脆性材料切割裂片激光加工系统及加工方法 [P]. 
林东涛 ;
雷志辉 ;
张加贤 ;
陈奕海 ;
侯杰 ;
田志学 .
中国专利 :CN117324755A ,2024-01-02
[6]
一种硬脆材料的激光加工方法及激光加工系统 [P]. 
邓耀锋 ;
李晓康 ;
林家新 ;
龙明昇 ;
廖文 ;
吕启涛 ;
高云峰 .
中国专利 :CN114074211A ,2022-02-22
[7]
一种激光加工系统及可调线宽的激光加工方法 [P]. 
冯玙璠 ;
陈治贤 ;
庄昌辉 ;
黄汉杰 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN110449733A ,2019-11-15
[8]
用于硬脆性材料钻孔的激光加工系统及方法 [P]. 
杨焕 ;
秦国双 ;
张杰 .
中国专利 :CN105598593B ,2016-05-25
[9]
一种激光加工系统及激光加工方法 [P]. 
冯玙璠 ;
陈治贤 ;
庄昌辉 ;
黄汉杰 ;
尹建刚 ;
高云峰 .
中国专利 :CN110449732A ,2019-11-15
[10]
用于硬脆性材料钻孔的激光加工系统 [P]. 
杨焕 ;
秦国双 ;
张杰 .
中国专利 :CN205551808U ,2016-09-07