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一种脆性材料的激光加工系统及加工方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110220425.3
申请日
:
2021-02-26
公开(公告)号
:
CN115041815B
公开(公告)日
:
2025-10-10
发明(设计)人
:
张小军
任莉娜
邱越渭
曾志刚
李一龄
胡辉
苑学瑞
卢建刚
尹建刚
高云峰
申请人
:
深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请人地址
:
518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101
IPC主分类号
:
B23K26/073
IPC分类号
:
B23K26/38
B23K26/70
代理机构
:
深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385
代理人
:
杨晖琼
法律状态
:
授权
国省代码
:
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-10-10
授权
授权
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[1]
一种脆性材料的激光加工系统及加工方法
[P].
张小军
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张小军
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任莉娜
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任莉娜
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邱越渭
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邱越渭
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曾志刚
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曾志刚
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李一龄
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李一龄
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胡辉
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胡辉
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苑学瑞
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苑学瑞
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卢建刚
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卢建刚
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尹建刚
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尹建刚
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高云峰
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高云峰
.
中国专利
:CN115041815A
,2022-09-13
[2]
一种硬脆性材料的激光加工方法及激光加工系统
[P].
潘凯
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潘凯
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庄昌辉
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庄昌辉
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冯玙璠
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冯玙璠
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温喜章
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温喜章
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黄显东
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黄显东
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陈治贤
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陈治贤
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戴剑
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戴剑
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肖骐
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肖骐
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吴灏淮
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吴灏淮
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尹建刚
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尹建刚
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高云峰
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高云峰
.
中国专利
:CN109570778A
,2019-04-05
[3]
一种脆性材料的激光加工装置及加工方法
[P].
张小军
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张小军
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任莉娜
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任莉娜
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邱越渭
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邱越渭
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胡辉
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胡辉
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李友强
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李友强
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苑学瑞
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苑学瑞
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卢建刚
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卢建刚
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孙杰
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孙杰
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尹建刚
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尹建刚
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高云峰
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高云峰
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中国专利
:CN115041814A
,2022-09-13
[4]
一种脆性材料的激光加工装置及加工方法
[P].
张小军
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深圳市大族半导体装备科技有限公司
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张小军
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任莉娜
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邱越渭
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邱越渭
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胡辉
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孙杰
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孙杰
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尹建刚
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高云峰
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高云峰
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,2024-11-12
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透明脆性材料切割裂片激光加工系统及加工方法
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林东涛
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英诺激光科技股份有限公司
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田志学
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田志学
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,2024-01-02
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一种硬脆材料的激光加工方法及激光加工系统
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邓耀锋
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李晓康
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李晓康
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高云峰
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高云峰
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中国专利
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,2022-02-22
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一种激光加工系统及可调线宽的激光加工方法
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冯玙璠
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冯玙璠
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尹建刚
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尹建刚
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高云峰
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高云峰
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中国专利
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,2019-11-15
[8]
用于硬脆性材料钻孔的激光加工系统及方法
[P].
杨焕
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杨焕
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秦国双
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张杰
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张杰
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中国专利
:CN105598593B
,2016-05-25
[9]
一种激光加工系统及激光加工方法
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冯玙璠
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陈治贤
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庄昌辉
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高云峰
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中国专利
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,2019-11-15
[10]
用于硬脆性材料钻孔的激光加工系统
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:CN205551808U
,2016-09-07
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