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一种负压吸附装置及硅片搬运装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422496491.5
申请日：
2024-10-16
公开(公告)号：
CN223436510U
公开(公告)日：
2025-10-14
发明(设计)人：
刘磊
龚燕斌
俞志军
孙留华
谷丙楠
武玉鑫
申请人：
诺德凯（苏州）智能装备有限公司
申请人地址：
215168 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7号厂房
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256
代理人：
陈志军
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-14 | 授权 | 授权 |