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一种喷淋盘清洗设备及方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511086786.8
申请日：
2025-08-05
公开(公告)号：
CN120734032A
公开(公告)日：
2025-10-03
发明(设计)人：
丁双伟 张耀文 余正飞
申请人：
亿威盛半导体科技（上海）有限公司
申请人地址：
200120 上海市浦东新区王桥路1017号1层02室
IPC主分类号：
B08B3/10
IPC分类号：
B08B13/00
代理机构：
深圳鼎丞佰瑞知识产权代理有限公司 441149
代理人：
芦艳洁
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-03 公开 公开
2025-10-24 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B08B 3/10申请日:20250805
共 50 条
[1]
一种喷淋盘装置及清洗设备 [P]. 
任富佳 ;
王炯 ;
周海昕 ;
王嘉明 ;
郑桐福 ;
贺晓帆 ;
张富元 .
中国专利 :CN217827789U ,2022-11-18
[2]
一种喷淋盘装置及清洗设备 [P]. 
任富佳 ;
王炯 ;
周海昕 ;
王嘉明 ;
郑桐福 ;
贺晓帆 ;
张富元 .
中国专利 :CN115040048A ,2022-09-13
[3]
抛光清洗设备及抛光清洗方法 [P]. 
史霄 ;
尹影 ;
李伟 ;
李婷 .
中国专利 :CN119400726A ,2025-02-07
[4]
一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备 [P]. 
张九勤 ;
邓信甫 ;
刘大威 ;
陈丁堃 .
中国专利 :CN112845293A ,2021-05-28
[5]
一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备 [P]. 
张九勤 ;
邓信甫 ;
刘大威 ;
陈丁堃 .
中国专利 :CN112718690A ,2021-04-30
[6]
一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备 [P]. 
张九勤 ;
邓信甫 ;
刘大威 ;
陈丁堃 .
中国专利 :CN214555776U ,2021-11-02
[7]
一种光电码盘喷淋清洗设备 [P]. 
孟洋 ;
殷明春 .
中国专利 :CN216779636U ,2022-06-21
[8]
一种喷淋臂及喷淋清洗设备 [P]. 
滕茂林 ;
颜灵智 ;
刘东 ;
李宁 .
中国专利 :CN220529968U ,2024-02-27
[9]
喷淋装置及清洗设备 [P]. 
刘伟 ;
陈洁 ;
刘效岩 ;
吴仪 .
中国专利 :CN111081585B ,2020-04-28
[10]
喷淋装置及清洗设备 [P]. 
刘伟 ;
刘效岩 ;
吴仪 .
中国专利 :CN111162023A ,2020-05-15
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