一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011625123.6

申请日：

2020-12-31

公开(公告)号：

CN112845293A

公开(公告)日：

2021-05-28

发明(设计)人：

张九勤邓信甫刘大威陈丁堃

申请人：

申请人地址：

200000 上海市闵行区紫海路170号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B304 B08B310 B08B1300 B05B1560

代理机构：

北京沁优知识产权代理有限公司 11684

代理人：

刘富艳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20201231
2021-05-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备 [P].

张九勤 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN214555776U ,2021-11-02

[2]

一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备 [P].

张九勤 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN112718690A ,2021-04-30

[3]

一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备 [P].

张仕成 ;

李臻 ;

尹蓉 ;

贠奇豪 ;

阎静 ;

李方 .

中国专利 :CN119480710A ,2025-02-18

[4]

一种自动化半导体晶圆清洗烘干装置 [P].

沈正煌 ;

段恒 ;

张凯 .

中国专利 :CN118073246B ,2024-07-02

[5]

一种自动化半导体晶圆清洗烘干设备 [P].

张仕成 ;

李臻 ;

尹蓉 ;

贠奇豪 ;

阎静 ;

李方 .

中国专利 :CN119480710B ,2025-05-27

[6]

一种自动化半导体晶圆清洗烘干装置 [P].

沈正煌 ;

段恒 ;

张凯 .

中国专利 :CN118073246A ,2024-05-24

[7]

一种晶圆清洗装置 [P].

翁裕斌 ;

朱峰 ;

翁伊宁 .

中国专利 :CN216902835U ,2022-07-05

[8]

一种晶圆清洗装置 [P].

赵岩 ;

樊开明 ;

张礼杰 ;

周建军 .

中国专利 :CN221899975U ,2024-10-25

[9]

用于清洗半导体晶圆的清洗槽 [P].

李芳 ;

陈锟 ;

朱也方 .

中国专利 :CN103871938A ,2014-06-18

[10]

用于清洗半导体圆晶的清洗槽 [P].

陈铁龙 ;

林智颖 ;

陈坤 ;

张振 ;

孙东初 .

中国专利 :CN215198490U ,2021-12-17

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