一种晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323416176.9

申请日：

2023-12-14

公开(公告)号：

CN221899975U

公开(公告)日：

2024-10-25

发明(设计)人：

赵岩樊开明张礼杰周建军

申请人：

英诺赛科（珠海）科技有限公司

申请人地址：

519100 广东省珠海市高新区金园二路39号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677 B08B3/02 B08B3/08 B08B13/00

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

张海英

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置 [P].

翁裕斌 ;

朱峰 ;

翁伊宁 .

中国专利 :CN216902835U ,2022-07-05

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

谈国敏 ;

周峰 .

中国专利 :CN222720352U ,2025-04-04

[3]

晶圆清洗装置及清洗方法 [P].

王爽 ;

高文琳 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN117423644A ,2024-01-19

[4]

晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

单保淋 ;

王冬冬 ;

田鑫 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220672529U ,2024-03-26

[5]

晶圆清洗方法 [P].

王爽 ;

高文琳 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN117423644B ,2024-03-05

[6]

一种晶圆双面清洗装置 [P].

郭炳熙 ;

周铁军 ;

胡玉婷 ;

孙美玉 ;

田玉莲 .

中国专利 :CN220491844U ,2024-02-13

[7]

一种晶圆清洗卡具 [P].

刘瑞雄 ;

曾琦 ;

廖彬 ;

周铁军 .

中国专利 :CN220491868U ,2024-02-13

[8]

一种晶圆清洗装置 [P].

李晨阳 ;

管飞 ;

邓宏远 ;

邓二平 ;

黄永章 .

中国专利 :CN217474199U ,2022-09-23

[9]

一种晶圆清洗装置 [P].

林擎宇 ;

尚宏博 .

中国专利 :CN211670178U ,2020-10-13

[10]

晶圆清洗装置 [P].

苏晓平 ;

江彤 .

中国专利 :CN201369318Y ,2009-12-23

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