一种晶圆清洗卡具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321864346.7

申请日：

2023-07-17

公开(公告)号：

CN220491868U

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

刘瑞雄曾琦廖彬周铁军

申请人：

广东先导微电子科技有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

胡静

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置 [P].

翁裕斌 ;

朱峰 ;

翁伊宁 .

中国专利 :CN216902835U ,2022-07-05

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

谈国敏 ;

周峰 .

中国专利 :CN222720352U ,2025-04-04

[3]

一种晶圆清洗装置 [P].

赵岩 ;

樊开明 ;

张礼杰 ;

周建军 .

中国专利 :CN221899975U ,2024-10-25

[4]

晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

单保淋 ;

王冬冬 ;

田鑫 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220672529U ,2024-03-26

[5]

晶圆清洗方法 [P].

王爽 ;

高文琳 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN117423644B ,2024-03-05

[6]

一种晶圆双面清洗装置 [P].

郭炳熙 ;

周铁军 ;

胡玉婷 ;

孙美玉 ;

田玉莲 .

中国专利 :CN220491844U ,2024-02-13

[7]

一种晶圆清洗装置 [P].

林擎宇 ;

尚宏博 .

中国专利 :CN211670178U ,2020-10-13

[8]

晶圆清洗装置及清洗方法 [P].

王爽 ;

高文琳 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN117423644A ,2024-01-19

[9]

一种晶圆承载装置 [P].

唐海明 ;

郑军 .

中国专利 :CN220821524U ,2024-04-19

[10]

一种晶圆校准设备 [P].

郭庆 ;

赵泽通 ;

马林 ;

孙伟 ;

王正根 .

中国专利 :CN222190642U ,2024-12-17

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