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一种晶圆清洗卡具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321864346.7
申请日：
2023-07-17
公开(公告)号：
CN220491868U
公开(公告)日：
2024-02-13
发明(设计)人：
刘瑞雄
曾琦
廖彬
周铁军
申请人：
广东先导微电子科技有限公司
申请人地址：
511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
胡静
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-13 | 授权 | 授权 |